RF-PLASMA-GLÜHENTLADUNGS-SPUTTERN

Brevetto europeo · EP2422352 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP2422352
Numero della domanda
EP10719043
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
20 apr 2010
Pubblicato
29 feb 2012
Rilasciato
6 gen 2016
Radiato
30 apr 2020
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01J 37/32 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
Priorità
GB 0906935 23.04.2009
Domanda PCT
PCT/GB2010/050641 20.04.2010
Pubblicazione PCT
WO2010/122331 28.10.2010
Lingua del deposito
inglese

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 18 nov 2020

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 18.11.2020

  2. 6 gen 2016

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 06.01.2016

Parti

Inventore

EHIASARIAN, Arutiun

Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB

HOVSEPIAN, Papken

Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB

YUKIMURA, Ken

Moriyama-City Shiga 524-0022, JP

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