RF-PLASMA-GLÜHENTLADUNGS-SPUTTERN
Brevetto europeo · EP2422352 · Radiato
Iscrizione nel registro
- Numero di pubblicazione
- EP2422352
- Numero della domanda
- EP10719043
- Tipo
- Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
- Stato
- Radiato
- Fascicolo
- Rilasciato
- Depositato
- 20 apr 2010
- Pubblicato
- 29 feb 2012
- Rilasciato
- 6 gen 2016
- Radiato
- 30 apr 2020
- Motivo
- Tassa annuale non pagata
- Classi IPC
- H01J 37/32 (2006.01)H01J 37/34 (2006.01)
- Priorità
- GB 0906935 23.04.2009
- Domanda PCT
- PCT/GB2010/050641 20.04.2010
- Pubblicazione PCT
- WO2010/122331 28.10.2010
- Lingua del deposito
- inglese
- Fonte
- Swissreg
Cronologia
Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.
- 18 nov 2020
Radiato, tassa non pagata
Pubblicato in Swissreg il 18.11.2020
- 6 gen 2016
Rilasciato
Pubblicato in Swissreg il 06.01.2016
Parti
Inventore
EHIASARIAN, Arutiun
Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB
HOVSEPIAN, Papken
Sheffield South Yorkshire S1 1WB, GB
YUKIMURA, Ken
Moriyama-City Shiga 524-0022, JP
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