Frequenzeinstellung eines RF-Generators in einem Plasmaverfahren

Brevetto europeo · EP3029711 · In vigore

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP3029711
Numero della domanda
EP14196158
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
In vigore
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
3 dic 2014
Pubblicato
8 giu 2016
Rilasciato
16 ott 2019
Fine della protezione al più tardi
2 dic 2034
Prossima tassa annuale dovuta
31 dic 2026
Classi IPC
H01J 37/32 (2006.01)
Lingua del deposito
inglese

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 1 gen 2026

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    Pubblicato in Swissreg il 01.01.2026

  2. 1 gen 2025

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  3. 9 gen 2024

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    Pubblicato in Swissreg il 09.01.2024

  4. 4 gen 2023

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    Pubblicato in Swissreg il 04.01.2023

  5. 25 gen 2020

    Rappresentante iscritto

    Rappresentante
    Isler & Pedrazzini AG, Postfach 1772, 8027 Zürich

    Pubblicato in Swissreg il 25.01.2020

  6. 16 ott 2019

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 16.10.2019

Parti

Inventore

Schlierf, Roland

50823 Köln, DE

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