FOKUSMESSUNGEN MIT SCATTEROMETRIE

Brevetto europeo · EP3126893 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP3126893
Numero della domanda
EP15774184
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
30 mar 2015
Pubblicato
8 feb 2017
Rilasciato
3 set 2025
Radiato
23 ott 2026
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
G02B 15/14 (2006.01)
H04N 7/18 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorità
US 201461973151 P 31.03.2014
Domanda PCT
PCT/US2015/023405 30.03.2015
Pubblicazione PCT
WO2015/153497 08.10.2015
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 23 ott 2026

    Radiato, tassa non pagata

    Stato del titolo protettivo
    Attivo → Cancellato
    Data di cancellazione
    23.10.2026
    Motivo di cancellazione
    Tassa annuale non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 23.10.2026

  2. 15 lug 2026

    Modifica

    Pubblicato in Swissreg il 15.07.2026

  3. 3 set 2025

    Rilasciato

    Stato del brevetto
    Domanda di brevetto non pubblicata → Brevetto rilasciato
    Stato del titolo protettivo
    Avviato → Attivo

    Pubblicato in Swissreg il 03.09.2025

Parti

Titolare

Kla-Tencor Corporation

Milpitas, California 95035, US

Inventore

EL KODADI, Mohammed

F-38400 Saint Martin D'heres, FR

AMIR, Nuriel

2068101 St. Yokne'am, IL

VOLKOVICH, Roie

3824969 Hadera, IL

LEVINSKI, Vladimir

23100 Migdal Haemek, IL

FELER, Yoel

32163 Haifa, IL

KANDEL, Daniel

76858 Aseret, IL

GUTMAN, Nadav

3091784 Zichron Ya'aqov, IL

PANDEV, Stilian

Santa Clara, California 95050, US

SANKO, Dzmitry

Vallejo, California 94590, US

Il registro designa ogni parte con nome e indirizzo. Un titolare o un rappresentante è collegato a un’organizzazione quando un solo ente del registro di commercio porta il suo nome; la via di una parte non riconosciuta così non è mostrata qui.