ZYKLISCHES PLASMAÄTZEN

Brevetto europeo · EP3139403 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP3139403
Numero della domanda
EP16187143
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
2 set 2016
Pubblicato
8 mar 2017
Rilasciato
18 dic 2019
Radiato
30 set 2020
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01L 21/3065 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorità
GB 201515622 03.09.2015
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 21 apr 2021

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 21.04.2021

  2. 18 dic 2019

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 18.12.2019

Parti

Titolare

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited

Tubney Woods Abingdon, Oxon OX13 5QX, GB

Inventore

COOKE, Michael J.

Oxon, OX13 5QX, GB

GOODYEAR, Andrew L.

Oxon, OX13 5QX, GB

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