SUBSTRATBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
Brevetto europeo · EP3341961 · Radiato
Iscrizione nel registro
- Numero di pubblicazione
- EP3341961
- Numero della domanda
- EP16753706
- Tipo
- Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
- Stato
- Radiato
- Fascicolo
- Rilasciato
- Depositato
- 2 ago 2016
- Pubblicato
- 4 lug 2018
- Rilasciato
- 14 lug 2021
- Radiato
- 23 feb 2022
- Motivo
- Tassa annuale non pagata
- Classi IPC
- H01L 21/687 (2006.01)C23C 16/458 (2006.01)C23C 16/46 (2006.01)H01L 21/67 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)C23C 16/54 (2006.01)
- Priorità
- DE 102015113962 24.08.2015
- Domanda PCT
- PCT/IB2016/054632 02.08.2016
- Pubblicazione PCT
- WO2017/033077 02.03.2017
- Lingua del deposito
- tedesco
- Fonte
- Swissreg
Cronologia
Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.
- 25 mag 2022
Modifica
Pubblicato in Swissreg il 25.05.2022
- 24 mar 2022
Radiato, tassa non pagata
Pubblicato in Swissreg il 24.03.2022
- 14 lug 2021
Rilasciato
Pubblicato in Swissreg il 14.07.2021
Parti
Inventore
KEHR, Mirko
09439 Amtsberg, DE
RASCHKE, Sebastian
09380 Thalheim, DE
BÖHM, Christian
09337 Hohenstein-Ernstthal, DE
ANSORGE, Erik
09127 Chemnitz, DE
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