BODEN- UND MITTELRANDRINGE

Brevetto europeo · EP3566245 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP3566245
Numero della domanda
EP17932862
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
21 nov 2017
Pubblicato
13 nov 2019
Rilasciato
17 mar 2021
Radiato
28 giu 2022
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01L 21/687 (2006.01)
H01L 21/683 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
Domanda PCT
PCT/US2017/062769 21.11.2017
Pubblicazione PCT
WO2019/103722 31.05.2019
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 28 giu 2022

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 28.06.2022

  2. 26 gen 2022

    Modifica

    Pubblicato in Swissreg il 26.01.2022

  3. 17 mar 2021

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 17.03.2021

Parti

Titolare

Lam Research Corporation

4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538, US

Inventore

TOKAIRIN, Shawn E S

Fremont California 94539, US

RATHNASINGHE, Hiran Rajitha

Fremont California 94538, US

MCCHESNEY, Jon

Fremont California 94539, US

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