PLASMA-VERARBEITUNGSWERKZEUG

Brevetto europeo · EP3794628 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP3794628
Numero della domanda
EP19787352
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
1 ott 2019
Pubblicato
24 mar 2021
Rilasciato
22 dic 2021
Radiato
25 mag 2023
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01J 37/32 (2006.01)
C23C 16/509 (2006.01)
Priorità
GB 201816059 02.10.2018
Domanda PCT
PCT/GB2019/052763 01.10.2019
Pubblicazione PCT
WO2020/070482 09.04.2020
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 25 mag 2023

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 25.05.2023

  2. 2 nov 2022

    Modifica

    Pubblicato in Swissreg il 02.11.2022

  3. 22 dic 2021

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 22.12.2021

Parti

Titolare

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited

Tubney Woods, Abingdon, Oxon OX13 5QX, GB

Inventore

PETER, Annika

Oxon OX13 5QX, GB

COOKE, Mike

Oxon, OX 13 5QX, GB

PROUDFOOT, Gary

Oxon OX13 5QX, GB

WATERS, Gareth

Oxon, OX13 5QX, GB

O'MAHONY, Aileen

Oxon OX13 5QX, GB

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