DFC

Macchine e motori

Appareils, installations et machines de source au plasma pour une utilisation dans le matériel de fabrication à semi-conducteur, à savoir appareils, installations et machines de génération au plasma, appareils, installations et machines de transformation au plasma, appareils, installations et machines de gravure/enlèvement au plasma, appareils, installations et machines de dépôt au plasma, appareils, installations et machines d'élimination au plasma, appareils, installations et machines de traitement au plasma, réacteurs au plasma pour la diminution des gaz toxiques et produits secondaires provenant des réactions au plasma; appareils, installations et machines de traitement de films fins, appareils, installations et machines de traitement des plaquettes (wafer), appareils, installations et machines de traitement de technique/procédés de gravure/enlèvement, appareils, installations et machiness de traitement de technique/procédés de dépôt utilisés dans la production et le traitement de matériel d'ordinateur, de logiciel d'ordinateur et de composants d'ordinateurs, à savoir plaquettes/puces (wafers), semi-conducteurs, et substrats incorporant des semi-conducteurs, des circuits intégrés et des écrans d'affichage plats.

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