EUV-BELICHTUNGSGERÄT
Europäisches Patent · EP3674798 · In Kraft
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3674798
- Anmeldenummer
- EP20151898
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- In Kraft
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 28.07.2011
- Veröffentlicht
- 01.07.2020
- Erteilt
- 03.09.2025
- Schutz endet spätestens
- 27.07.2031
- Nächste Jahresgebühr fällig
- 31.07.2026
- IPC-Klassen
- G03F 7/20 (2006.01)G21K 1/06 (2006.01)G02B 5/08 (2006.01)G02B 7/18 (2021.01)B82Y 10/00 (2011.01)G02B 17/06 (2006.01)G02B 27/00 (2006.01)
- Priorität
- US 36914210 P 30.07.2010
- Abgezweigt von
- EP11740883
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 15.07.2026
Änderung
Veröffentlicht in Swissreg am 15.07.2026
- 03.09.2025
Erteilt
- Schriftstatus
- Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
- Schutztitelstatus
- Initiiert → Aktiv
Veröffentlicht in Swissreg am 03.09.2025
Beteiligte
Inhaberin
Erfinderin/Erfinder
BAER, Norman
73430 Aalen, DE
LOERING, Ulrich
89073 Ulm, DE
NATT, Oliver
90451 Nürnberg, DE
WITTICH, Gero
73431 Aalen, DE
LAUFER, Timo
70180 Stuttgart, DE
KUERZ, Peter
73434 Aalen, DE
LIMBACH, Guido
73434 Aalen, DE
HEMBACHER, Stefan
86399 Bobingen, DE
WALTER, Holger
73453 Abtsgmünd, DE
KWAN, Yim-Bun-Patrick
73447 Oberkochen, DE
HAUF, Markus
89075 Ulm, DE
STICKEL, Franz-Josef
73434 Aalen-Unterrombach, DE
VAN SCHOOT, Jan
5504 Veldhoven, NL
Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.