SUBSTRATHALTER UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG

Brevetto europeo · EP2810128 · In vigore

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP2810128
Numero della domanda
EP13700893
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
In vigore
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
17 gen 2013
Pubblicato
10 dic 2014
Rilasciato
2 ott 2019
Fine della protezione al più tardi
16 gen 2033
Prossima tassa annuale dovuta
31 gen 2027
Classi IPC
G03F 7/20 (2006.01)
Priorità
US 201261594857 P 03.02.2012
US 201261621648 P 09.04.2012
US 201261621660 P 09.04.2012
Domanda PCT
PCT/EP2013/050818 17.01.2013
Pubblicazione PCT
WO2013/113568 08.08.2013
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 1 feb 2026

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    Pubblicato in Swissreg il 01.02.2026

  2. 1 feb 2025

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    Pubblicato in Swissreg il 01.02.2025

  3. 1 feb 2024

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    Pubblicato in Swissreg il 01.02.2024

  4. 1 feb 2023

    Modifica

    Pubblicato in Swissreg il 01.02.2023

  5. 2 ott 2019

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 02.10.2019

Parti

Titolare

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Inventore

KARADE, Yogesh

NL-5611 GJ Eindhoven, NL

DZIOMKINA, Nina

NL-5658 BN Eindhoven, NL

TEN KATE, Nicolaas

NL-4286 EC Almkerk, NL

RODENBURG, Elisabeth

NL-5591EW Heeze, NL

LAFARRE, Raymond

NL-5607 JS Helmond, NL

DONDERS, Sjoerd

NL-5261 CA Vught, NL

Il registro designa ogni parte con nome e indirizzo. Un titolare o un rappresentante è collegato a un’organizzazione quando un solo ente del registro di commercio porta il suo nome; la via di una parte non riconosciuta così non è mostrata qui.