ASML Netherlands B.V.

5503 LA Veldhoven

Patents

POSITIONSMESSSYSTEM UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG

EP4616142

deponida ils 10-10-2023
SYSTEM UND VERFAHREN ZUM ZÄHLEN VON PARTIKELN AUF EINEM DETEKTOR WÄHREND DER INSPEKTION

EP4558845

deponida ils 20-07-2023
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER ABSOLUTEN POSITION EINES BEWEGLICHEN OBJEKTS, INTERFEROMETERSYSTEM, PROJEKTIONSSYSTEM UND LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG

EP4548039

deponida ils 25-05-2023
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER MUSTERKARTE, COMPUTERPROGRAMMPRODUKT

EP4449483

deponida ils 18-11-2022
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR REDUZIERUNG DER MUSTERVERSCHIEBUNG IN EINER LITHOGRAFIEVORRICHTUNG

EP4445219

deponida ils 09-11-2022
KAMMER FÜR EIN PROJEKTIONSSYSTEM EINER LITHOGRAPHISCHEN VORRICHTUNG, PROJEKTIONSSYSTEM UND LITHOGRAPHISCHES GERÄT

EP4413423

deponida ils 13-09-2022
VERFAHREN ZUR KONVERTIERUNG VON METROLOGIEDATEN

EP4399573

deponida ils 22-08-2022
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR ERKENNUNG VON DEFEKTEN IN EINER STRUKTURIERUNGSVORRICHTUNG

EP4399571

deponida ils 15-08-2022
VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES LITHOGRAPHISCHEN VERFAHRENS UND ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNGEN

EP4399572

deponida ils 04-08-2022
LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG, SUBSTRATTISCH UND HERSTELLUNGSVERFAHREN

EP4359868

deponida ils 13-06-2022
Ulteriuras marcas (40)
VERFAHREN ZUR ENTKOPPLUNG VON VARIATIONSQUELLEN IN DER HALBLEITERHERSTELLUNG

EP4367556

deponida ils 02-06-2022
HYBRIDE PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG FÜR EXTREM ULTRAVIOLETTE PHOTOLITHOGRAFIEANWENDUNGEN

EP4348350

deponida ils 22-04-2022
OPTISCHE VORRICHTUNG MIT GELADENEN TEILCHEN UND METHODE

EP4341979

deponida ils 20-04-2022
BREITBANDSTRAHLUNGSGENERATOR MIT HOHLKERN AUF DER BASIS VON PHOTONISCHEN KRISTALLFASERN

EP4012494

deponida ils 17-11-2021
SCHWINGUNGSISOLATOR ZUM UNTERSTÜTZEN EINER NUTZLAST

EP4151880

deponida ils 17-09-2021
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR BILDBASIERTEN MUSTERAUSWAHL

EP4200671

deponida ils 29-07-2021
VORRICHTUNG ZUR VERARBEITUNG EINER RETIKEL- UND PELLIKELANORDNUNG

EP4200670

deponida ils 29-07-2021
HOHLKERNFASERLICHTQUELLE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HOHLKERNFASER

EP4193205

deponida ils 12-07-2021
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON BREITBANDSTRAHLUNG UND ZUGEHÖRIGE BREITBANDQUELLE UND METROLOGIEVORRICHTUNG

EP4189477

deponida ils 06-07-2021
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES ENTRAUSCHUNGSMODELLS

EP4182881

deponida ils 24-06-2021
OPTISCHES ELEMENT UND MEMBRAN FÜR EINEN LITHOGRAPHISCHEN APPARAT

EP4158423

deponida ils 21-04-2021
ANORDNUNG MIT EINEM NICHTLINEAREN ELEMENT UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG

EP4127830

deponida ils 24-02-2021
SUBSTRAT UNTERSTÜTZUNG UND SUBSTRATTISCH

EP4111261

deponida ils 25-01-2021
LITHOGRAFISCHES SYSTEM MIT EINER ABLENKVORRICHTUNG ZUM ÄNDERN EINER FLUGBAHN VON TEILCHENFÖRMIGEM SCHUTT

EP4094125

deponida ils 24-12-2020
ANORDNUNG ZUR BÜNDELUNG VON BREITBANDSTRAHLUNG

EP3789809

deponida ils 04-08-2020
STRAHLUNGSQUELLE

EP4428610

deponida ils 13-07-2020
MONTIERTE HOHLKERNFASERANORDNUNG

EP3754389

deponida ils 09-06-2020
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM

EP3997518

deponida ils 09-06-2020
OBJEKTPOSITIONIERER UND LITHOGRAFISCHES GERÄT

EP3963403

deponida ils 27-03-2020
REINIGUNGSVERFAHREN

EP3707560

deponida ils 16-10-2018
LITHOGRAFISCHES VERFAHREN

EP3627228

deponida ils 04-09-2018
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DETEKTION GELADENER TEILCHEN

EP4163950

deponida ils 01-02-2018
DURCHFÜHRUNGSVORRICHTUNG UND SIGNALLEITERBAHNANORDNUNG

EP3563456

deponida ils 07-12-2017
BESTIMMUNG EINER OPTIMALEN BETRIEBSPARAMETEREINSTELLUNG EINES METROLOGIESYSTEMS

EP3538954

deponida ils 17-10-2017
MEMBRANANORDNUNG

EP3391140

deponida ils 02-12-2016
MESSSUBSTRAT UND MESSVERFAHREN

EP3380894

deponida ils 23-11-2016
TRAGETISCH FÜR EINE LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG, VERFAHREN ZUM LADEN EINES SUBSTRATS, LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND VORRICHTUNGSHERSTELLUNGSVERFAHREN

EP3210080

deponida ils 07-10-2015
TRAGETISCH FÜR EINE LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG, LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE VORRICHTUNG

EP3137945

deponida ils 25-03-2015
OBJEKTHALTER, LITHOGRAPHISCHER APPARAT UND LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN

EP2856261

deponida ils 07-05-2013
SUBSTRATHALTER UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG

EP2810128

deponida ils 17-01-2013
SUBSTRATHALTER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATHALTERS

EP2810127

deponida ils 17-01-2013
EUV-BELICHTUNGSGERÄT

EP3674798

deponida ils 28-07-2011
WELLENLEITER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR

EP4202509

Stritgà
VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINER PROBE MITTELS EINER TEILCHENSTRAHLVORRICHTUNG ZUR BEWERTUNG

EP4453991

Stritgà
BESTIMMUNG EINES ÄTZEFFEKTS AUF BASIS EINER GERICHTETEN ÄTZRESERVE

EP4433869

Stritgà
BESTIMMUNG EINER MESSREZEPTUR IN EINEM METROLOGISCHEN VERFAHREN

EP4419968

Stritgà
AUF PHOTONISCHER HOHLKERNKRISTALLFASER-BASIERTE MEHRWELLENLÄNGEN-LICHTQUELLENVORRICHTUNG

EP4060404

Stritgà
SYSTEM FÜR GELADENE TEILCHEN, VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG EINER PROBE UNTER VERWENDUNG EINES MEHRFACHSTRAHLS VON GELADENEN TEILCHEN

EP4260357

Stritgà
TOPOLOGIEBASIERTE BILDWIEDERGABE IN INSPEKTIONSSYSTEMEN MIT GELADENEN TEILCHENSTRAHLEN

EP4264373

Stritgà
MIKROSPIEGELARRAYS

EP4260121

Stritgà

Possessur da 302 patents, 42 en vigur.

Da Swissreg, il register da l’Institut federal da la proprietad intellectuala: patents svizzers e patents europeics cun effect en Svizra. In patent figurescha qua, sch’il num da ses possessur è il num da questa unitad giuridica.