attocube Systems AG
80331 München
Brevets
AKTIVER BIMODALER AFM-BETRIEB ZUR MESSUNGEN OPTISCHER INTERAKTION
EP3722817
GEKÜHLTER TISCH
EP3224556
OPTISCHER TISCH
EP3209954
HAFT-GLEIT-ANTRIEB, INSBESONDERE PIEZO-AKTUIERTER TRÄGHEITSANTRIEB
EP3205011
INTERFEROMETRISCHER WEGSENSOR ZUR INTEGRATION IN WERKZEUGMASCHINEN UND HALBLEITER-LITHOGRAFIESYSTEMEN
EP3137847
Elektromechanischer Aktuator
EP3035519
Doppellaserinterferometer
EP2806246
Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer
EP2363685
Vorrichtung zur Positionserfassung
EP2045572
ELEKTROMECHANISCHER AKTUATOR
EP3410596
Autres marques (5)
Titulaire de 15 brevets, 9 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.