Appareil et procédé de pulvérisation à magnétron

Brevet européen · EP0328257 · Radié

Inscription au registre

Numéro de publication
EP0328257
Numéro de demande
EP89300521
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
Radié
Fascicule
Maintenu sous une forme modifiée
Déposé
19 janv. 1989
Publié
16 août 1989
Délivré
2 avr. 1997
Radié
18 janv. 2009
Motif
Durée maximale atteinte
Classes CIB
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
C23C 14/58 (2006.01)
Priorité
US 154177 08.02.1988
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 26 janv. 2009

    Durée maximale atteinte

    Publié dans Swissreg le 26.01.2009

  2. 13 août 2004

    Modification

    Publié dans la +pat+ no 15 de l'année 2004

  3. 30 juin 1997

    Mandataire inscrit

    Mandataire
    Bovard AG, Patentanwälte, Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

    Publié dans la FBDM no 12 de l'année 1997

  4. 15 avr. 1997

    Délivré

    Publié dans la FBDM no 7 de l'année 1997

Parties

Inventeur

Scobey, Michael A.

Santa Rosa California 95407, US

Seddon, Richard Ian

Santa Rosa California 95404, US

Seeser, James W.

Santa Rosa California 95404, US

Austin, Russel R.

Santa Rosa California 95404, US

LeFabvre, Paul M.

Santa Rosa California 95401, US

Manley, Barry W.

Boulder Colorado 80301, US

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