Appareil et procédé de pulvérisation à magnétron
Brevet européen · EP0328257 · Radié
Inscription au registre
- Numéro de publication
- EP0328257
- Numéro de demande
- EP89300521
- Type
- Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
- Statut
- Radié
- Fascicule
- Maintenu sous une forme modifiée
- Déposé
- 19 janv. 1989
- Publié
- 16 août 1989
- Délivré
- 2 avr. 1997
- Radié
- 18 janv. 2009
- Motif
- Durée maximale atteinte
- Classes CIB
- C23C 14/56 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)H01J 37/34 (2006.01)C23C 14/58 (2006.01)
- Priorité
- US 154177 08.02.1988
- Langue du dépôt
- anglais
- Source
- Swissreg
Historique
Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.
- 26 janv. 2009
Durée maximale atteinte
Publié dans Swissreg le 26.01.2009
- 13 août 2004
Modification
Publié dans la +pat+ no 15 de l'année 2004
- 30 juin 1997
Mandataire inscrit
- Mandataire
- Bovard AG, Patentanwälte, Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25
Publié dans la FBDM no 12 de l'année 1997
- 15 avr. 1997
Délivré
Publié dans la FBDM no 7 de l'année 1997
Parties
Inventeur
Santa Rosa California 95407, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95404, US
Santa Rosa California 95401, US
Boulder Colorado 80301, US
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