Réacteur à plasma pour un procédé de dépôt ou de gravure
Brevet européen · EP0641014 · Radié
Inscription au registre
- Numéro de publication
- EP0641014
- Numéro de demande
- EP94401885
- Type
- Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
- Statut
- Radié
- Fascicule
- Délivré
- Déposé
- 23 août 1994
- Publié
- 1 mars 1995
- Délivré
- 19 mars 1997
- Radié
- 22 août 2014
- Motif
- Durée maximale atteinte
- Classes CIB
- H01J 37/32 (2006.01)H05H 1/46 (2006.01)
- Priorité
- FR 9310301 27.08.1993
- Langue du dépôt
- français
- Source
- Swissreg
Historique
Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.
- 25 août 2014
Durée maximale atteinte
Publié dans Swissreg le 25.08.2014
- 15 avr. 1997
Mandataire inscrit
- Mandataire
- GEC ALSTHOM (Suisse) S.A., Département des brevets, Weingartenstrasse 7, 8803 Rüschlikon
Publié dans la FBDM no 7 de l'année 1997
- 27 mars 1997
Délivré
Publié dans la FBDM no 6 de l'année 1997
Parties
Inventeur
Pearson, David
F-74000 Annecy, FR
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