AIXTRON SE

52134 Herzogenrath

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MIT EINER INDIVIDUELLEN KENNUNG VERSEHENES BAUTEIL EINER CVD-VORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR ÜBERMITTLUNG VON INFORMATIONEN

EP3776326

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SUSZEPTOR FÜR EINEN CVD-REAKTOR

EP3601631

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VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER STRUKTURIERTEN KEIMSCHICHT UNTER VERWENDUNG EINES LASERSTRAHLES ; ENTSPRECHENDE VORRICHTUNG

EP3538314

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ELEKTRODE FÜR EINEN LITHIUM-IONEN-AKKUMULATOR BZW. VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM UMFORMEN VON NANO-FILAMENTEN ZUR VERWENDUNG IN EINEM LITHIUM-IONEN-AKKUMULATOR

EP3520158

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HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT

EP3440693

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FÖRDEREINRICHTUNG FÜR EIN SUBSTRAT

EP3314035

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VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES GROSSFLÄCHIGEN SUBSTRATS

EP3253902

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OLED-HERSTELLUNGSVORRICHTUNG

EP3031949

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VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN EINER SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT

EP3224385

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CVD- ODER PVD-REAKTOR ZUM BESCHICHTEN GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE

EP3221490

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SUBSTRATHALTEVORRICHTUNG

EP3224386

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VERFAHREN ZUM TRENNEN EINER KOHLENSTOFFSTRUKTUR VON EINER KEIMSTRUKTUR

EP3212820

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TEMPERIERTE GASZULEITUNG MIT AN MEHREREN STELLEN EINGESPEISTEN VERDÜNNUNGSGASSTRÖMEN

EP3209809

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VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES DAMPFES AUS EINEM FESTEN ODER FLÜSSIGEN AUSGANGSSTOFF FÜR EINE CVD- ODER PVD-EINRICHTUNG

EP2963147

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BESCHICHTETES FLACHES BAUTEIL IN EINEM CVD-REAKTOR

EP3164525

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VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN VON NANOTUBES

EP3129524

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AUF SEINEN BEIDEN VONEINANDER WEGWEISENDEN BREITSEITEN JE EIN SUBSTRAT TRAGENDER SUBSTRATTRÄGER

EP3129520

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BESCHICHTETES BAUTEIL EINES CVD-REAKTORS UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

EP2918702

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VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES MITTELS EINES SCHWINGKÖRPERSENSORS

EP3111205

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Vorrichtung und Verfahren zum Fertigen von aus Kohlenstoff bestehenden Nano-Strukturen

EP2876083

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VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON HOCHLEISTUNGSBESCHICHTUNGEN UND VERKAPSELTE ELEKTRONISCHE VORRICHTUNGEN

EP3014675

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GASEINLASSORGAN EINES CVD-REAKTORS

EP2732069

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TEMPERATURGRADIENTENERWEITERTE GASPHASENABSCHEIDUNG (TGE-CVD)

EP2643495

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AUFDAMPFUNGSMATERIALQUELLE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR

EP2723912

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AUFDAMPFUNGSSYSTEM UND ZUFÜHRUNGSKOPF

EP2723913

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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUFDAMPFUNG

EP2723914

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VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GLEICHZEITIGEN ABSCHEIDEN MEHRERER HALBLEITERSCHICHTEN IN MEHREREN PROZESSKAMMERN

EP2558615

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BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG MIT EINER SCHIRMPLATTE

EP2536865

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CVD-REAKTOR MIT AUF EINEM MEHRERE ZONEN AUFWEISENDEN GASPOLSTER LIEGENDEN SUBSTRATHALTER

EP2488679

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CVD-VERFAHREN UND CVD-REAKTOR

EP2470684

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CVD-REAKTOR UND VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINER SCHICHT

EP2470685

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VORRICHTUNG ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP3020850

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VERFAHREN ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP2451991

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VERFAHREN ZUM EINRICHTEN EINES EPITAXIE-REAKTORS

EP2443274

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MOCVD-REAKTOR MIT EINER ÖRTLICH VERSCHIEDEN AN EIN WÄRMEABLEITORGAN ANGEKOPPELTEN DECKENPLATTE

EP2408952

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MOCVD-REAKTOR MIT ZYLINDRISCHEM GASEINLASSORGAN

EP2406411

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MAGNETISCH AUF EINEM SUBSTRATHALTER GEHALTENE SCHATTENMASKE

EP2334840

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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN DÜNNER SCHICHTEN AUS POLYMEREN PARA-XYLYLENE ODER SUBSTITUIERTEM PARA-XYLYLENE

EP2293883

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VERFAHREN ZUR TEMPERAURGRADIENTGESTÜTZTEN CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG

EP2294244

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VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES DÜNNSCHICHTIGEN POLYMERS IN EINER NIEDERDRUCKGASPHASE

EP2294246

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