Tokyo Electron Limited

Minato-ku, Tokyo

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INSPEKTIONSVORRICHTUNG

EP3940402

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SUBSTRATTRÄGER UND INSPEKTIONSVORRICHTUNG

EP3929603

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SUBSTRATVERARBEITUNGSVERFAHREN UND PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP3905307

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SUBSTRATTRÄGER, TESTVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR EINSTELLUNG DER TEMPERATUR EINES SUBSTRATTRÄGERS

EP3882644

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DUMMY-WAFER

EP3869543

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POLIERTE TEMPERATURGEREGELTE BÜHNE

EP3828563

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MONTAGETISCH UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES MONTAGETISCHES

EP3671819

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VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TEMPERATURREGELUNG

EP3660622

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INSPEKTIONSVORRICHTUNG UND TEMPERATURREGELUNGSVERFAHREN

EP3799111

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VERBINDUNGSSYSTEM UND VERBINDUNGSVERFAHREN

EP3742474

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DATENVERARBEITUNGSVORRICHTUNG, DATENVERARBEITUNGSVERFAHREN, UND AUFZEICHNUNGSMEDIUM

EP3734467

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PLASMAÄTZVERFAHREN UND PLASMAÄTZVORRICHTUNG

EP3726567

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ZYKLONSAMMLER

EP3632571

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WERKSTÜCKMAGNETISIERUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUM BETRIEB

EP3566241

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FILMHERSTELLUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER REINIGUNG

EP3614419

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OPTISCHE VERARBEITUNGSVORRICHTUNG, BESCHICHTUNGS-/ENTWICKLUNGSVORRICHTUNG, OPTISCHES VERARBEITUNGSVERFAHREN UND NICHT TRANSITORISCHES COMPUTERLESBARES SPEICHERMEDIUM

EP3346337

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BELICHTUNGSVORRICHTUNG, BELICHTUNGSVERFAHREN UND SPEICHERMEDIUM

EP3324239

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BELICHTUNGSVORRICHTUNG, BELICHTUNGSVORRICHTUNGANPASSUNGSVERFAHREN UND SPEICHERMEDIUM

EP3324240

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INSPEKTIONSVORRICHTUNG FÜR ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG

EP3550313

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FILMFORMUNGSVORRICHTUNG

EP3457432

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MONTAGETISCH UND PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG

EP3147931

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GASVERSORGUNGSSYSTEM, GASVERSORGUNGSSTEUERUNGSVERFAHREN UND GASAUSTAUSCHVERFAHREN

EP3106956

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ASEPTISCHER PROBENTRANSPORTBEHÄLTER

EP3308170

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TEMPERATURREGELVERFAHREN UND PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG

EP3104393

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ÄTZVERFAHREN

EP3086359

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VERFAHREN ZUR VERARBEITUNG EINES ZU VERARBEITENDEN ZIELOBJEKTS

EP3086357

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VERFAHREN ZUM ÄTZEN EINES ORGANISCHEN FILMS

EP3086356

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BEWERTUNGSVERFAHREN ZUR DIFFERENZIERUNG DES ZUSTANDS VON ZELLEN

EP3366779

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BELICHTUNGSDOSISHOMOGENISIERUNG DURCH ROTATION, TRANSLATION UND VARIABLE VERARBEITUNGSBEDINGUNGEN

EP3278353

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SUBSTRATHALTEVERFAHREN, SUBSTRATHALTEVORRICHTUNG, VERARBEITUNGSVERFAHREN UND VERARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP3282475

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VERFAHREN ZUR VERARBEITUNG EINES ZIELOBJEKTS UMFASSEND DIE ABLAGERUNG VON EINEM SILIZIUMOXIDFILM

EP3051576

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VORRICHTUNG ZUR FILMFORMUNG

EP3223301

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EUV-RESISTENTE ÄTZBESTÄNDIGKEITSVERBESSERUNG UND MUSTERKOLLAPSABSCHWÄCHUNG

EP3010033

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VERFAHREN ZUR VERARBEITUNG EINES ZIELOBJEKTS

EP3007208

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VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DES UNDIFFERENZIERTEN ZUSTANDES PLURIPOTENTER STAMMZELLEN DURCH KULTURMEDIUMANALYSE

EP3202911

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VERFAHREN ZUR PLASMAVERARBEITUNG UND VORRICHTUNG ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP3206223

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WERKSTÜCKBEARBEITUNGSVERFAHREN

EP3007205

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VORRICHTUNG ZUR PLASMAVERARBEITUNG UND VERFAHREN ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP2980829

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PLASMAÄTZVERFAHREN UND PLASMAÄTZVORRICHTUNG

EP2945188

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MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN

EP3150994

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Holder of 247 patents, 3 in force.

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