NANO UV
91140 Villebon sur Yvette
Brevets
SOURCE A PLASMA DE RAYONS DIRIGES ET APPLICATION A LA MICROLITHOGRAPHIE
EP1673785
DISPOSITIF DE RADIOLOGIE COMPORTANT DES MOYENS D'AGRANDISSEMENT D'IMAGES PERFECTIONNEES
EP1213995
Titulaire de 2 brevets, 0 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.