Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle. Le registre ne désigne le titulaire que par son nom et son adresse ; une marque figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.

Brevets

MEHRTEILIGE PLASMABEGRENZUNGSRINGSTRUKTUR

EP4352775

déposée le 16 mai 2022

GERÄT MIT EINER WÄGEEINRICHTUNG

EP4352466

déposée le 13 avr. 2022

KANTENRING FÜR EIN PLASMABEARBEITUNGSSYSTEM

EP4036955

déposée le 4 août 2020

VORRICHTUNG ZUR GEPULSTEN LASERABSCHEIDUNG

EP3919650

déposée le 4 juin 2020

RF-SCHALTUNG MIT DIREKTANTRIEB FÜR SUBSTRATVERARBEITUNGSSYSTEME

EP3807921

déposée le 23 mai 2019

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR PULSBREITENMODULIERTEN DOSISSTEUERUNG

EP3688794

déposée le 21 sept. 2018

ENTWURFSLAYOUTMUSTERNÄHERUNGSKORREKTUR DURCH KANTENPLAZIERUNGSFEHLERVORHERSAGE

EP3619577

déposée le 27 avr. 2018

AKTIVER DUSCHKOPF

EP3539150

déposée le 25 oct. 2017

WÄGEVORRICHTUNG FÜR EINE HALBLEITERSCHEIBE

EP4490474

Radié

VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON PIEZOELEKTRISCHEM MATERIAL AUS HOCHDOTIERTEM ALUMINIUMNITRID

EP4224543

Radié

Autres marques (40)

C-MANTEL-MODIFIKATION FÜR PLASMAGLEICHFÖRMIGKEIT OHNE AUSWIRKUNG AUF DIE MECHANISCHE FESTIGKEIT ODER LEBENSDAUER DES C-MANTEL-KÖRPERS

EP4292118

Radié

FRAKTALBRAUSEKOPF MIT ZWEI KAMMERN

EP4046182

Radié

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCANDIUM-ALUMINIUMNITRIDTARGETS FÜR PLD

EP3964603

Radié

DYNAMISCHE MANTELSTEUERUNG MIT RANDRINGHEBUNG

EP3887570

Radié

VERWENDUNG VON IDENTIFIKATOREN ZUR ZUORDNUNG VON RANDRINGTEILENUMMERN ZU SCHLITZNUMMERN

EP3844805

Radié

DREHGEBER MIT ZUSÄTZLICHEN DREHACHSEN

EP3738142

Radié

KOMPONENTEN UND VERFAHREN ZUR VERWALTUNG VON PLASMAPROZESSNEBENPRODUKTMATERIALIEN

EP3738136

Radié

WAFER-HANDHABUNGSROBOTER MIT DREHGELENK-ENCODERN

EP3711086

Radié

PLASMAQUELLE OHNE IMPEDANZANPASSUNG FÜR DIE HERSTELLUNG VON HALBLEITERWAFERN UND VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN VON RADIOFREQUENZ AN EINE ELEKTRODE EINER PLASMAKAMMER

EP3698395

Radié

ELEKTROMAGNETISCHE GUSS-SYSTEME UND -VERFAHREN MIT ÖFEN UND FORMEN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMROHREN

EP3691814

Radié

HOCHENERGIE-ATOMLAGENÄTZUNG

EP3692567

Radié

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR PULSBREITENMODULIERTEN DOSISSTEUERUNG

EP4235743

Radié

SYSTEM UND VERFAHREN ZUR AUTOMATISIERUNG DER BENUTZERINTERAKTION FÜR HALBLEITERHERSTELLUNGSAUSRÜSTUNG

EP3454141

Radié

SYSTEME UND VERFAHREN ZUR KOMBINATION OPTISCHER METROLOGIE MIT MASSENMETROLOGIE

EP3679598

Radié

GELENKIGER DIREKTMONTIERTER INDUKTOR UND ZUGEHÖRIGE SYSTEME UND VERFAHREN

EP3416174

Radié

ELEKTROSTATISCHES SPANNFUTTER ZUR VERWENDUNG IN DER HALBLEITERVERARBEITUNG

EP3631846

Radié

PLATZSPARENDE PLATTFORMARCHITEKTUR MIT LINEAREM VAKUUMÜBERTRAGUNGSMODUL

EP3596752

Radié

STEUERUNG DER DIREKTIONALITÄT BEI DER ATOMSCHICHTÄTZUNG

EP3586357

Radié

VERFAHREN UND SYSTEM ZUM FESTHALTEN EINES ISOLATIONS-ARTIGEN SUBSTRATS WÄHREND DER PLASMA-VERARBEITUNG DES ISOLATIONS-ARTIGEN SUBSTRATS

EP3364446

Radié

HOCH-PRODUCTIVES BESCHICHTUNGS-SYSTEM

EP3352205

Radié

KANTENRING ZUR VERWENDUNG IN EINER PLASMAPROZESSKAMMER UND SYSTEM ZUR BEFESTIGUNG EINES SOLCHEN KANTENRINGES

EP3724912

Radié

BODEN- UND MITTELRANDRINGE

EP3566245

Radié

UNTERE RANDRINGE

EP3843129

Radié

VERFAHREN UND PROZESS ZUR IMPLEMENTIERUNG VON MASCHINELLEM LERNEN IN EINE KOMPLEXE MULTIVARIATE WAFERBEARBEITUNGSAUSRÜSTUNG

EP3512977

Radié

ENTWÜRFE FÜR BEWEGLICHEN KANTRING

EP3580777

Radié

KONSTRUKTION ZUR LAGERUNG UND ORGANISATION VON TEILEN MIT MINIMAL-KONTAKT-FLÄCHE UND WAFER TRANSFER PINS WÄHREND DER SYSTEM WARTUNG

EP3176815

Radié

RANDRING-ANORDNUNG ZUR VERBESSERUNG DER PROFILNEIGUNG VON STRUKTUREN AM ÄUSSERSTEN RAND EINES WAFERS

EP3133635

Radié

GASVERSORGUNGSZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM GASTEILER FÜR EINSTELLBARE GASDURCHFLUSSREGELUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER GASVERSORGUNGSZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG

EP3207558

Radié

VERFAHREN ZUM IDENTIFIZIEREN VON EINEM PROZESSPUNKT IN EINEM MULTI-MODUS PULS-VERFAHREN

EP3012855

Radié

BEGRENZUNGSRING UND HALBLEITERWAFERBEARBEITUNGSSYSTEM DAMIT

EP2417627

Radié

VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DOPPELSCHUTZ UND ULTRAHOHEN DRUCK IN EINER EINSTELLBAREN GLASPLASMAKAMMER

EP2380412

Radié

UNTERE ELEKTRODENANORDNUNG FÜR EINE PLASMAVERARBEITUNGSKAMMER

EP2342951

Radié

VERBUNDDUSCHKOPFELEKTRODENANORDNUNG FÜR EINE PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP2316253

Radié

EINGESPANNTE DUSCHKOPFELEKTRODE

EP2301308

Radié

EINGESPANNTE DUSCHKOPFELEKTRODENANORDNUNG

EP2301309

Radié

VERFAHREN ZUR WIEDERINSTANDSETZUNG VON ELEKTRODEN AUS MEHREREN BESTANDTEILEN

EP2298042

Radié

DUSCHKOPF-ELEKTRODENBAUGRUPPEN FÜR PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNGEN

EP2301067

Radié

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG UND KONTROLLE EINER METALLISIERUNGSLÖSUNG

EP2240626

Radié

ENTFLUORISIERUNGSPROZESS

EP2074648

Radié

AUTOMATISIERTE TEST- UND KENNZEICHNUNGSDATENANALYSEVERFAHREN UND ENTSPRECHENDE ANORDNUNG

EP2076784

Radié

Titulaire de 180 brevets, 8 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.