Versum Materials US, LLC

Tempe, AZ

Brevets

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REINIGUNG NACH EINER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

EP4204529

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NEUE VORLÄUFER ZUR ABSCHEIDUNG VON FILMEN MIT HOHEM ELASTIZITÄTSMODUL

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KOAXIALER VENTILBLOCK MIT BEGRENZTEM VOLUMEN

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VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES FILMS

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ENTGASER, ENTGASUNGSSYSTEME UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG

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ÄTZLÖSUNG UND VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ENTFERNEN VON SILICIUMNITRID WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

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CHEMISCHER UND MECHANISCHER POLIERSCHLAMM ZUR ISOLIERUNG VON FLACHEN GRÄBEN

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ÄTZLÖSUNG MIT SILICIUMOXIDKORROSIONSHEMMER UND VERWENDUNGSVERFAHREN DAFÜR

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UNTERDRÜCKUNG DER SIN-ENTFERNUNGSRATEN UND REDUZIERUNG DES OXID-TRENCH-DISHING FÜR PROZESS DER FLACHGRABENISOLATION (STI)

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VERBESSERUNG DER BESEITIGUNGSRATE VON BARRIERESCHLAMM

EP3628714

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HOCHOXID- VS NITRIDSELEKTIVITÄT, TRENCH-DISHING MIT NIEDRIGEM UND GLEICHMÄSSIGEM OXIDGEHALT BEIM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN UND PLANARISIEREN MIT FLACHGRABENISOLATION (STI)

EP3628713

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM- UND STICKSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMHALTIGEN SCHICHTEN MIT HOHEM KOHLENSTOFFGEHALT

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STABILE ALKENYL ODER ALKINYL ENTHALTENDE ORGANOSILICIUMVORLÄUFERZUSAMMENSETZUNGEN

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OXIDPOLIERZUSAMMENSETZUNG ZUR CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG

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CHEMISCH-MECHANISCHE PLANARISIERUNG (CMP) VON WOLFRAM MIT GERINGER MULDENBILDUNG UND TOPOGRAFIE MIT NIEDRIGER EROSION

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ZUSAMMENSETZUNG ZUR TITAN-NITRID-HARTMASKENENTFERNUNG UND REINIGUNG VON ÄTZRESTEN

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ZUSAMMENSETZUNGEN ZUM REINIGEN VON RÜCKSTÄNDEN NACH DEM ÄTZEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN VON WOLFRAM FÜR REDUZIERTE OXIDEROSION

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN FÜR NIEDRIGES OXID-TRENCH-DISHING

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REINIGUNG NACH DER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

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BIS(DIAZADIEN)KOBALT-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

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ORGANOAMINOFUNKTIONALISIERTE CYCLISCHE OLIGOSILOXANE ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FOLIEN

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VERWENDUNG EINER ÄTZLÖSUNG FÜR WOLFRAM-WORTLEITUNGSAUSSPARUNG

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/GERMANIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

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SILACYCLISCHE VERBINDUNGEN UND VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FILMEN UNTER VERWENDUNG DAVON

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ABLÖSERLÖSUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON ABLÖSERLÖSUNGEN

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ZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERHINDERUNG DES KOLLABIERENS VON STRUKTUREN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS WÄHREND DER TROCKNUNG

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ÄTZLÖSUNG ZUR GLEICHZEITIGEN ENTFERNUNG VON SILICIUM UND SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

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VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILIKONHALTIGEN SCHICHTEN

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON SILICIUM AUS EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

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Titulaire de 167 brevets, 8 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.