TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
71254 Ditzingen
Brevets
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM
EP3997518
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER STRAHLLAGESTELLEINRICHTUNG
EP4424114
FOKUSSIEREINRICHTUNG MIT EINER PARALLEL ODER DECKUNGSGLEICH ZU EINER TARGETEBENE VERLAUFENDEN BILDEBENE
EP4125165
EUV-ERREGUNGSLICHTQUELLE UND EUV-LICHTQUELLE
EP4338556
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER SEPARATIONSEINRICHTUNG
EP4331326
VARIABLE STRAHLMODULATION
EP4281823
OPTISCHE BAUGRUPPE, INSBESONDERE ZUR POLARISATION EINES LASERSTRAHLS, UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
EP3850412
STRAHLFALLE, STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG, EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSORBIEREN EINES STRAHLS
EP3265268
Titulaire de 8 brevets, 1 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.