MKS Inc.

Andover, MA

Brevets

VORRICHTUNG ZUR DRUCKBASIERTEN MASSENFLUSSSTEUERUNG UND MONTAGEVERFAHREN DER VORRICHTUNG

EP4479813

déposée le 23 janv. 2023

RADIKALAUSGABEMONITOR FÜR EINE ENTFERNTE PLASMAQUELLE UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG

EP3785494

déposée le 12 juin 2019

ÜBERWACHUNGSSTEUERUNG EINES HOCHFREQUENTEN (RF) IMPEDANZABSTIMMUNGSBETRIEBS

EP3338295

déposée le 8 août 2016

HF-IMPULSFLANKENFORMUNG

EP3637617

déposée le 24 oct. 2013

Titulaire de 4 brevets, 4 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.