Systeme d'etching par plasma à chambres multiples
Brevet européen · EP0264945 · Radié
Inscription au registre
- Numéro de publication
- EP0264945
- Numéro de demande
- EP87115508
- Type
- Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
- Statut
- Radié
- Fascicule
- Délivré
- Déposé
- 22 oct. 1987
- Publié
- 27 avr. 1988
- Délivré
- 13 mars 1996
- Radié
- 13 mars 1996
- Motif
- Révoqué sur opposition
- Classes CIB
- H01L 21/00 (2006.01)H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/18 (2006.01)
- Priorité
- US 923125 24.10.1986
- Langue du dépôt
- anglais
- Source
- Swissreg
Historique
Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.
- 25 juin 2024
Modification
Publié dans Swissreg le 25.06.2024
- 15 oct. 1997
Modification
Publié dans la FBDM no 19 de l'année 1997
- 28 juin 1996
Délivré
Publié dans la FBDM no 12 de l'année 1996
- 15 mars 1996
Mandataire inscrit
- Mandataire
- A. Braun, Braun, Héritier,, Eschmann AG, Patentanwälte, Holbeinstrasse 36-38, 4051 Basel
Publié dans la FBDM no 5 de l'année 1996
Parties
Inventeur
Maher, Joseph A.
South Hamilton Massachusetts, US
Vowles, E. John
Goffstown Massachusetts, US
Napoli, Joseph D.
Winham New Hampshire, US
Zafiropoulo, Arthur W.
Manchester Massachusetts, US
Miller, Mark W.
Burlington Massachusetts, US
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