Ventilation d'une installation de traitement sous vide

Brevet européen · EP0346018 · Radié

Inscription au registre

Numéro de publication
EP0346018
Numéro de demande
EP89305588
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
Radié
Fascicule
Délivré
Déposé
2 juin 1989
Publié
13 déc. 1989
Délivré
5 oct. 1994
Radié
30 juin 1997
Motif
Annuité impayée
Classes CIB
H01L 21/00 (2006.01)
C23C 16/52 (2006.01)
Priorité
US A 203009 06.06.1988
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 13 févr. 1998

    Radié, taxe impayée

    Publié dans la FBDM no 3 de l'année 1998

  2. 15 nov. 1994

    Délivré

    Publié dans la FBDM no 21 de l'année 1994

Parties

Titulaire

Varian Associates, Inc.

611 Hansen Way, Palo Alto/CA, US

Mandataire

Bovard AG

Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

Inventeur

Milgate, Robert W., III

Gloucester MA 01930, US

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.