SOURCE A PLASMA DE RAYONS DIRIGES ET APPLICATION A LA MICROLITHOGRAPHIE
Brevet européen · EP1673785 · Radié
Inscription au registre
- Numéro de publication
- EP1673785
- Numéro de demande
- EP04817228
- Type
- Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
- Statut
- Radié
- Fascicule
- Délivré
- Déposé
- 18 oct. 2004
- Publié
- 28 juin 2006
- Délivré
- 16 mai 2007
- Radié
- 31 oct. 2011
- Motif
- Annuité impayée
- Classes CIB
- G21K 1/06 (2006.01)H05G 2/00 (2006.01)
- Priorité
- FR 0312202 17.10.2003
- Demande PCT
- PCT/FR2004/002656 18.10.2004
- Publication PCT
- WO2005/038822 28.04.2005
- Langue du dépôt
- français
- Source
- Swissreg
Historique
Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.
- 23 mai 2012
Radié, taxe impayée
Publié dans Swissreg le 23.05.2012
- 31 mars 2008
Transféré
- Titulaire
- EPPRA, 16, avenue du Québec,, Parc d'Affaires Silic de Villebon Courtaboeuf, 91140 Villebon sur Yvette, France → NANO-UV, 16, avenue deu Quebec, 91140 VILLEBON SUR YVETTE, France
Publié dans la +pat+ no 6 de l'année 2008
- 31 mars 2008
Mandataire inscrit
- Mandataire
- Dr. Joachim Lauer, Patentanwalt, Stapferstrasse 5,, Postfach 2651, 8033 Zürich
Publié dans la +pat+ no 6 de l'année 2008
- 29 juin 2007
Mandataire inscrit
- Mandataire
- MICHELI & CIE SA, 122, Rue de Genève, Case postale 61, 1226 Thônex
Publié dans la +pat+ no 12 de l'année 2007
- 15 juin 2007
Délivré
Publié dans la +pat+ no 11 de l'année 2007
Parties
Inventeur
CHOI, Peter
F-91400 Orsay, FR
Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.