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Brevet européen · EP2408275 · Radié

Inscription au registre

Numéro de publication
EP2408275
Numéro de demande
EP10750873
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
Radié
Fascicule
Délivré
Déposé
10 mars 2010
Publié
18 janv. 2012
Délivré
11 janv. 2017
Radié
31 mars 2017
Motif
Annuité impayée
Classes CIB
H05H 1/46 (2006.01)
C23C 16/505 (2006.01)
H01L 21/205 (2006.01)
H01L 21/3065 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorité
JP 2009057327 11.03.2009
Demande PCT
PCT/JP2010/054017 10.03.2010
Publication PCT
WO2010/104120 16.09.2010
Langue du dépôt
japonais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 18 oct. 2017

    Radié, taxe impayée

    Publié dans Swissreg le 18.10.2017

  2. 11 janv. 2017

    Délivré

    Publié dans Swissreg le 11.01.2017

Parties

Titulaire

EMD Corporation

2426-1, Mikami, Yasu-shi, Shiga 520-2323, JP

Tokyo Electron Limited

3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-6325, JP

Inventeur

SETSUHARA, Yuichi

Suita-shi Osaka 565-0871, JP

NISHIMURA, Eiichi

Nirasaki City Yamanashi 407-0192, JP

EBE, Akinori

Kyoto-shi Kyoto 601-8355, JP

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.