SUBSTRATBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
Brevet européen · EP3341961 · Radié
Inscription au registre
- Numéro de publication
- EP3341961
- Numéro de demande
- EP16753706
- Type
- Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
- Statut
- Radié
- Fascicule
- Délivré
- Déposé
- 2 août 2016
- Publié
- 4 juil. 2018
- Délivré
- 14 juil. 2021
- Radié
- 23 févr. 2022
- Motif
- Annuité impayée
- Classes CIB
- H01L 21/687 (2006.01)C23C 16/458 (2006.01)C23C 16/46 (2006.01)H01L 21/67 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)C23C 16/54 (2006.01)
- Priorité
- DE 102015113962 24.08.2015
- Demande PCT
- PCT/IB2016/054632 02.08.2016
- Publication PCT
- WO2017/033077 02.03.2017
- Langue du dépôt
- allemand
- Source
- Swissreg
Historique
Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.
- 25 mai 2022
Modification
Publié dans Swissreg le 25.05.2022
- 24 mars 2022
Radié, taxe impayée
Publié dans Swissreg le 24.03.2022
- 14 juil. 2021
Délivré
Publié dans Swissreg le 14.07.2021
Parties
Inventeur
KEHR, Mirko
09439 Amtsberg, DE
RASCHKE, Sebastian
09380 Thalheim, DE
BÖHM, Christian
09337 Hohenstein-Ernstthal, DE
ANSORGE, Erik
09127 Chemnitz, DE
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