SIN-REINIGUNG MIT CCP-PLASMA ODER RPS-REINIGUNG

Brevet européen · EP4363629 · En vigueur

Inscription au registre

Numéro de publication
EP4363629
Numéro de demande
EP22834031
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
En vigueur
Fascicule
Délivré
Déposé
28 juin 2022
Publié
8 mai 2024
Délivré
17 juin 2026
Fin de la protection au plus tard
27 juin 2042
Prochaine annuité due
30 juin 2026
Classes CIB
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
H10P 72/00 (2026.01)
Priorité
US 202117362925 29.06.2021
Demande PCT
PCT/US2022/035236 28.06.2022
Publication PCT
WO2023/278388 05.01.2023
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 17 juin 2026

    Délivré

    Statut du fascicule
    Demande de brevet non publiée → Brevet délivré
    Statut du titre de protection
    Initiée → Actif

    Publié dans Swissreg le 17.06.2026

Parties

Inventeur

RAMALINGAM, Jothilingam

Santa Clara, California 95054, US

CAO, Yong

Santa Clara, California 95054, US

LAVITSKY, Ilya

Santa Clara, California 95054, US

MILLER, Keith A.

Santa Clara, California 95054, US

GUNG, Tza-Jing

Santa Clara, California 95054, US

TANG, Xianmin

Santa Clara, California 95054, US

LAVAN, Shane

Santa Clara, California 95054, US

SCHMIEDING, Randy D.

Santa Clara, California 95054, US

FORSTER, John C.

Santa Clara, California 95054, US

SAVANDAIAH, Kirankumar Neelasandra

Bangalore, Karnataka 560072, IN

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.