SCHÜNGEL, Edmund

MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM MESSEN VON PARAMETERN EINES PIEZOELEKTRISCHEN KRISTALLS,WORAUF EINE MATERIALDÜNNSCHICHT AUFGEBRACHT WIRD, SOWIE DÜNNSCHICHTAUFBRINGUNGSSYSTEME MITTELS EINER SOLCHEN VORRICHTUNG UND EIN VERFAHREN ZUM KONTROLLIEREN SOLCHER SYSTEME

VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS UND VAKUUMABSCHEIDUNGSVORRICHTUNG