Hoi Cheong Steve Sun
Plainsboro NJ
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Teilchenabscheidevorrichtung und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung
Brevet suisse · CH694042 · Inventeur
Teilchenabscheidevorrichtung und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung
Brevet suisse · CH694041 · Inventeur
Teilchenabscheidevorrichtung mit einer elektrostatischen Halteeinrichtung
Brevet suisse · CH694040 · Inventeur
Haltevorrichtung zur Positionierung mehrerer Gegenstände auf einem Substrat und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung
Brevet suisse · CH694038 · Inventeur