VORRICHTUNG ZUR UNTERSTÜTZUNG EINER MEMS-KOMPONENTE, ANORDNUNG DER VORRICHTUNG ZUR UNTERSTÜTZUNG EINES SYSTEMS MIT DER VORRICHTUNG, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER VORRICHTUNG ZUR UNTERSTÜTZUNG EINER MEMS-KOMPONENTE UND VERWENDUNG VON WÄNDEN ZUR UNTERSTÜTZUNG EINER MEMS-KOMPONENTE
Brevet européen · EP3309826 · Inventeur