Brooks Automation (Germany) GmbH

78256 Steißlingen

Brevets

LAGERSYSTEM ZUM LAGERN VON PHOTOMASKEN

EP4607273

déposée le 20 févr. 2024
VERFAHREN UND SYSTEM ZUR INSPEKTION EINES INNENBEHÄLTERS ODER EINES AUSSENBEHÄLTERS EINES EUV-BEHÄLTERS

EP4002008

déposée le 23 nov. 2020
EUV-RETIKEL-SPEICHER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN

EP4066060

déposée le 3 avr. 2020
BEHÄLTERINSPEKTIONSVERFAHREN UND INSPEKTIONSSYSTEM

EP3413340

déposée le 8 juin 2017
INSPEKTIONSSYSTEM UND INSPEKTIONSVERFAHREN VON SUBSTRATBEHÄLTERN

EP3413339

déposée le 8 juin 2017
VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER SPS MIT EINEM PC-PROGRAMM

EP3413147

déposée le 7 juin 2017
RETIKELFACH UND DIFFUSORPLATTE

EP3291289

déposée le 30 août 2016
REZIRKULATIONS-SPÜLSYSTEM

EP3080838

déposée le 13 déc. 2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3061126

déposée le 20 oct. 2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3926667

déposée le 20 oct. 2014
Autres marques (7)
HALBLEITERSPEICHERSYSTEME UND -VERFAHREN

EP2727137

déposée le 28 juin 2012
HALBLEITERREINIGERSYSTEME UND VERFAHREN

EP3693990

déposée le 23 juin 2012
KERNMODUL FÜR MASCHINEN EINER HALBLEITERHERSTELLUNGSANLAGE

EP4078664

Radié
FEUCHTEREGELUNG IN HALBLEITERSYSTEMEN

EP3360156

Radié
BEHÄLTERLAGERUNGS-ERGÄNZUNGSTEIL FÜR EINE VORRICHTUNG ZUM STAPELN VON WERKSTÜCKEN

EP2754174

Radié
BESTANDÜBERWACHUNG VON DURCHLAUFLAGERN MITTELS RFID

EP2580716

Radié
RFID-Kommunikationssystem zur Konfiguration und Parametrierung

EP2302557

Radié

Titulaire de 17 brevets, 12 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.