SPP Process Technology Systems UK Limited

Newport Gwent NP18 2TA

Brevets

Module de dégazage multi-plaquette

CH705203

déposée le 22 juin 2011
Verfahren zum Auftragen einer SiO2-Folie

EP2362003

Radié
Ionstrahlenquelle

EP2333807

Radié
Vorrichtung zum chemischen Ätzen eines Werkstücks

EP2237309

Radié
Verfahren zur Plasmadampfabscheidung

EP2210966

Radié
IONENQUELLEN

EP2044608

Radié
PLASMAQUELLEN

EP2044610

Radié
IONENABSCHEIDUNGSVORRICHTUNG

EP2044609

Radié
POSITIV-VERSCHIEBUNGS-PUMPKAMMER

EP1935005

Radié
VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN

EP1912889

Radié

Titulaire de 10 brevets, 1 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.