FOKUSMESSUNGEN MIT SCATTEROMETRIE

Brevet européen · EP3126893 · Radié

Inscription au registre

Numéro de publication
EP3126893
Numéro de demande
EP15774184
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
Radié
Fascicule
Délivré
Déposé
30 mars 2015
Publié
8 févr. 2017
Délivré
3 sept. 2025
Radié
23 oct. 2026
Motif
Annuité impayée
Classes CIB
G02B 15/14 (2006.01)
H04N 7/18 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorité
US 201461973151 P 31.03.2014
Demande PCT
PCT/US2015/023405 30.03.2015
Publication PCT
WO2015/153497 08.10.2015
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 23 oct. 2026

    Radié, taxe impayée

    Statut du titre de protection
    Actif → Radié
    Date de radiation
    23.10.2026
    Motif de radiation
    Non-paiement de l'annuité

    Publié dans Swissreg le 23.10.2026

  2. 15 juil. 2026

    Modification

    Publié dans Swissreg le 15.07.2026

  3. 3 sept. 2025

    Délivré

    Statut du fascicule
    Demande de brevet non publiée → Brevet délivré
    Statut du titre de protection
    Initiée → Actif

    Publié dans Swissreg le 03.09.2025

Parties

Titulaire

Kla-Tencor Corporation

Milpitas, California 95035, US

Inventeur

EL KODADI, Mohammed

F-38400 Saint Martin D'heres, FR

AMIR, Nuriel

2068101 St. Yokne'am, IL

VOLKOVICH, Roie

3824969 Hadera, IL

LEVINSKI, Vladimir

23100 Migdal Haemek, IL

FELER, Yoel

32163 Haifa, IL

KANDEL, Daniel

76858 Aseret, IL

GUTMAN, Nadav

3091784 Zichron Ya'aqov, IL

PANDEV, Stilian

Santa Clara, California 95050, US

SANKO, Dzmitry

Vallejo, California 94590, US

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.