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Brevet européen · EP3548971 · Radié

Inscription au registre

Numéro de publication
EP3548971
Numéro de demande
EP18745244
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
Radié
Fascicule
Délivré
Déposé
24 janv. 2018
Publié
9 oct. 2019
Délivré
22 déc. 2021
Radié
24 août 2022
Motif
Annuité impayée
Classes CIB
G03F 7/20 (2006.01)
H01L 21/027 (2006.01)
Priorité
US 201762450454 P 25.01.2017
US 201815867485 10.01.2018
Demande PCT
PCT/US2018/015104 24.01.2018
Publication PCT
WO2018/140534 02.08.2018
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 2 nov. 2022

    Modification

    Publié dans Swissreg le 02.11.2022

  2. 24 août 2022

    Radié, taxe impayée

    Publié dans Swissreg le 24.08.2022

  3. 22 déc. 2021

    Délivré

    Publié dans Swissreg le 22.12.2021

Parties

Titulaire

KLA - Tencor Corporation

Kla-Tencor Corporation

Legal Department One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US

Inventeur

ADEL, Michael A.

30900 Ya'akov Zichron, IL

CHOI, Dongsub

Hwasung City Gyeonggi Province, KR

PIERSON, William

Austin, Texas 78730, US

YERUSHALMI, Liran

30900 Zicron Yaacob, IL

ALUMOT, Dror

7647001 Rehovot, IL

SUBRAHMANYAN, Pradeep

Cupertino, California 95014, US

HEO, Hoyoung

Gwangju-si Gyeonggi-do 31250, KR

MANASSEN, Amnon

34892 Haifa, IL

LEVY, Ady

San Jose, California 95125, US

ROBINSON, John

Austin, Texas 78731, US

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.