LITHOGRAFISCHES VERFAHREN

Brevet européen · EP3627228 · En vigueur

Inscription au registre

Numéro de publication
EP3627228
Numéro de demande
EP19206439
Type
Brevet européen avec effet pour la Suisse et le Liechtenstein
Statut
En vigueur
Fascicule
Délivré
Déposé
4 sept. 2018
Publié
25 mars 2020
Délivré
14 janv. 2026
Fin de la protection au plus tard
3 sept. 2038
Prochaine annuité due
30 sept. 2026
Classes CIB
G03F 9/00 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorité
EP 17193637 28.09.2017
EP 18164511 28.03.2018
EP 18166720 11.04.2018
Divisionnaire de
EP18768811
Langue du dépôt
anglais
Source
Swissreg

Historique

Ce que l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle a publié sur ce titre, du plus récent au plus ancien.

  1. 14 janv. 2026

    Délivré

    Statut du fascicule
    Demande de brevet non publiée → Brevet délivré
    Statut du titre de protection
    Initiée → Actif

    Publié dans Swissreg le 14.01.2026

Parties

Titulaire

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Inventeur

BIJNEN, Franciscus Godefridus Casper

5500 AH Veldhoven, NL

BRINKHOF, Ralph

5500 AH Veldhoven, NL

CEKLI, Hakki, Ergun

5500 AH Veldhoven, NL

COX, Matthijs

5500 AH Veldhoven, NL

ERDAMAR, Ahmet Koray

5500 AH Veldhoven, NL

GOOSEN, Maikel Robert

5500 AH Veldhoven, NL

HULSEBOS, Edo Maria

5500 AH Veldhoven, NL

KOU, Weitian

5500 AH Veldhoven, NL

MEGENS, Henricus Johannes Lambertus

5500 AH Veldhoven, NL

RIJPSTRA, Manouk

5500 AH Veldhoven, NL

ROELOFS, Willem Seine Christian

5500 AH Veldhoven, NL

TINNEMANS, Patricius Aloysius Jacobus

5500 AH Veldhoven, NL

VAN DE VEN, Wendy Johanna Martina

5500 AH Veldhoven, NL

VAN T WESTEINDE, Maaike

5500 AH Veldhoven, NL

VERHEES, Loek Johannes Petrus

5500 AH Veldhoven, NL

VU, Tran Thanh Thuy

5500 AH Veldhoven, NL

YAGUBIZADE, Hadi

5500 AH Veldhoven, NL

Le registre désigne chaque partie par son nom et son adresse. Un titulaire ou un mandataire est lié à une organisation lorsqu’une seule entité du registre du commerce porte son nom ; la rue d’une partie non reconnue ainsi n’est pas affichée ici.