Oerlikon Advanced Technologies AG
9496 Balzers
Brevets
VAKUUMBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
EP2576859
VAKUUMBEHANDLUNGSGERÄT
EP2409317
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON WERKSTÜCKEN UND GERÄT
EP2207909
MEHRTARGET-SPUTTER-QUELLE UND VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON MEHRFACHSCHICHTEN
EP2162899
VERFAHREN ZUR POSITIONIERUNG EINES WAFERS
EP1856730
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SPUTTERBESCHICHTETEN SUBSTRATEN, MAGNETRONQUELLE UND SPUTTERKAMMER MIT EINER SOLCHEN QUELLE
EP1723664
Verfahren zur Herstellung von sputterbeschichteten Substraten, Magnetronquelle und Sputterkammer mit solch einer Quelle
EP2164091
ANLAGE ZUR BEARBEITUNG EINES SUBSTRATS
EP1604384
Verfahren zur Herstellung von Silizium
CH694699
VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE
EP1042782
Autres marques (2)
Titulaire de 12 brevets, 0 en vigueur.
Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.