AIXTRON SE

52134 Herzogenrath

Brevets

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MIT EINER INDIVIDUELLEN KENNUNG VERSEHENES BAUTEIL EINER CVD-VORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR ÜBERMITTLUNG VON INFORMATIONEN

EP3776326

Radié
SUSZEPTOR FÜR EINEN CVD-REAKTOR

EP3601631

Radié
VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER STRUKTURIERTEN KEIMSCHICHT UNTER VERWENDUNG EINES LASERSTRAHLES ; ENTSPRECHENDE VORRICHTUNG

EP3538314

Radié
ELEKTRODE FÜR EINEN LITHIUM-IONEN-AKKUMULATOR BZW. VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM UMFORMEN VON NANO-FILAMENTEN ZUR VERWENDUNG IN EINEM LITHIUM-IONEN-AKKUMULATOR

EP3520158

Radié
HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT

EP3440693

Radié
FÖRDEREINRICHTUNG FÜR EIN SUBSTRAT

EP3314035

Radié
VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES GROSSFLÄCHIGEN SUBSTRATS

EP3253902

Radié
OLED-HERSTELLUNGSVORRICHTUNG

EP3031949

Radié
VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN EINER SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT

EP3224385

Radié
CVD- ODER PVD-REAKTOR ZUM BESCHICHTEN GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE

EP3221490

Radié
SUBSTRATHALTEVORRICHTUNG

EP3224386

Radié
VERFAHREN ZUM TRENNEN EINER KOHLENSTOFFSTRUKTUR VON EINER KEIMSTRUKTUR

EP3212820

Radié
TEMPERIERTE GASZULEITUNG MIT AN MEHREREN STELLEN EINGESPEISTEN VERDÜNNUNGSGASSTRÖMEN

EP3209809

Radié
VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES DAMPFES AUS EINEM FESTEN ODER FLÜSSIGEN AUSGANGSSTOFF FÜR EINE CVD- ODER PVD-EINRICHTUNG

EP2963147

Radié
BESCHICHTETES FLACHES BAUTEIL IN EINEM CVD-REAKTOR

EP3164525

Radié
VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN VON NANOTUBES

EP3129524

Radié
AUF SEINEN BEIDEN VONEINANDER WEGWEISENDEN BREITSEITEN JE EIN SUBSTRAT TRAGENDER SUBSTRATTRÄGER

EP3129520

Radié
BESCHICHTETES BAUTEIL EINES CVD-REAKTORS UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

EP2918702

Radié
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES MITTELS EINES SCHWINGKÖRPERSENSORS

EP3111205

Radié
Vorrichtung und Verfahren zum Fertigen von aus Kohlenstoff bestehenden Nano-Strukturen

EP2876083

Radié
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON HOCHLEISTUNGSBESCHICHTUNGEN UND VERKAPSELTE ELEKTRONISCHE VORRICHTUNGEN

EP3014675

Radié
GASEINLASSORGAN EINES CVD-REAKTORS

EP2732069

Radié
TEMPERATURGRADIENTENERWEITERTE GASPHASENABSCHEIDUNG (TGE-CVD)

EP2643495

Radié
AUFDAMPFUNGSMATERIALQUELLE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR

EP2723912

Radié
AUFDAMPFUNGSSYSTEM UND ZUFÜHRUNGSKOPF

EP2723913

Radié
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUFDAMPFUNG

EP2723914

Radié
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GLEICHZEITIGEN ABSCHEIDEN MEHRERER HALBLEITERSCHICHTEN IN MEHREREN PROZESSKAMMERN

EP2558615

Radié
BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG MIT EINER SCHIRMPLATTE

EP2536865

Radié
CVD-REAKTOR MIT AUF EINEM MEHRERE ZONEN AUFWEISENDEN GASPOLSTER LIEGENDEN SUBSTRATHALTER

EP2488679

Radié
CVD-VERFAHREN UND CVD-REAKTOR

EP2470684

Radié
CVD-REAKTOR UND VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINER SCHICHT

EP2470685

Radié
VORRICHTUNG ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP3020850

Radié
VERFAHREN ZUR PLASMAVERARBEITUNG

EP2451991

Radié
VERFAHREN ZUM EINRICHTEN EINES EPITAXIE-REAKTORS

EP2443274

Radié
MOCVD-REAKTOR MIT EINER ÖRTLICH VERSCHIEDEN AN EIN WÄRMEABLEITORGAN ANGEKOPPELTEN DECKENPLATTE

EP2408952

Radié
MOCVD-REAKTOR MIT ZYLINDRISCHEM GASEINLASSORGAN

EP2406411

Radié
MAGNETISCH AUF EINEM SUBSTRATHALTER GEHALTENE SCHATTENMASKE

EP2334840

Radié
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN DÜNNER SCHICHTEN AUS POLYMEREN PARA-XYLYLENE ODER SUBSTITUIERTEM PARA-XYLYLENE

EP2293883

Radié
VERFAHREN ZUR TEMPERAURGRADIENTGESTÜTZTEN CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG

EP2294244

Radié
VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES DÜNNSCHICHTIGEN POLYMERS IN EINER NIEDERDRUCKGASPHASE

EP2294246

Radié

Titulaire de 60 brevets, 5 en vigueur.

Selon Swissreg, le registre de l’Institut Fédéral de la Propriété Intellectuelle : brevets suisses et brevets européens ayant effet en Suisse. Un brevet figure ici lorsque le nom de son titulaire est celui de cette entité.